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太赫兹技术创新研究院


超快光电子与太赫兹技术实验室是一个集合光学,半导体物理学,微电子学,生物学等多学科交叉的实验室。主要涉及微电子制造、半导体工艺、生物医学检测、太阳能光伏、红外传感、超高频电磁波应用等领域。

实验室目前已有1000级超净室180平方米,美国相干公司飞秒激光器一台,时域太赫兹波谱测试系统一套,AFM原子力显微镜一台, SEM扫描电子显微镜一台,半导体参量测试仪一台,积分球光谱测试系统一套,磁共溅射/离子束溅射镀膜机一台等大型设备,科研条件达到了国际一流水平。


 
微纳结构光学实验室


 

微纳结构光学研究室是庄院士领导的上海市现代光学系统重点实验室的主要组成部分,本研究室拥有离子束蚀刻机、原子力显微镜、ZYGO干涉仪、光谱测试系统、全息系统、光栅刻划机等千万元以上的先进设备,拥有国内先进的超净和恒温工作室。研究条件国内一流,研究内容国际前沿,并涉及到光学、电子技术、生物、传感器、材料物理与化学等多学科的交叉。欢迎报考、加盟!

 

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