超快光电子与太赫兹技术实验室是一个集合光学,半导体物理学,微电子学,生物学等多学科交叉的实验室。主要涉及微电子制造、半导体工艺、生物医学检测、太阳能光伏、红外传感、超高频电磁波应用等领域。 实验室目前已有1000级超净室180平方米,美国相干公司飞秒激光器一台,时域太赫兹波谱测试系统一套,AFM原子力显微镜一台, SEM扫描电子显微镜一台,半导体参量测试仪一台,积分球光谱测试系统一套,磁共溅射/离子束溅射镀膜机一台等大型设备,科研条件达到了国际一流水平。