5月13日,上海理工大学光电信息与计算机工程学院院长张大伟率团赴御微半导体技术有限公司开展产学研合作交流。此次访问聚焦集成电路光电检测装备领域的校企协同创新,旨在将学院在光电仪器方向的学科优势与企业的产业化需求紧密对接,共同推动国产检测装备的自主研发攻关。
访问团由信息产业技术创新研究院执行院长廖玉清、集成电路教研室骨干教师郭旭光、徐公杰等一行组成。御微半导体技术有限公司方面由总经理王帆、研发运作负责人雷晓娟、研发负责人尹光才、办公室负责人苏薇等出席接待。
深入了解企业实力,聚焦检测装备产业前沿
座谈会上,御微半导体总经理王帆首先回顾了御微半导体的创立背景与成长历程。御微半导体深耕集成电路光学量检测装备领域,现已形成涵盖掩模版检测、晶圆检测、晶圆量测等九大类核心量检测产品的完整产品矩阵,在国产前道检测装备领域占据重要地位。研发负责人尹光才随后就公司产品体系及未来技术规划进行了详细阐述,全面展示了企业在光学量检测核心技术方向上的深厚积累。
光电仪器优势突出,校企高度契合
张大伟院长重点介绍了光电信息与计算机工程学院的发展历史与核心学科优势。学院以高端光电仪器为重要特色方向,在超精密光学制造、纳米光子学、太赫兹技术、微纳光学测量仪器等领域长期深耕,形成了从基础理论到工程应用的完整研究体系,并承担了多项国家级、省部级重大科研项目,培养了大批光电仪器领域的高水平专业人才。
上述学科积累与御微半导体在掩模版检测、晶圆光学检测与量测等核心业务中所涉及的关键技术高度吻合,双方在技术层面具备天然的协同基础与广阔的合作空间。
廖玉清院长随后介绍了上海市在推动校企联合培养、产学研协同攻关方面的系列政策支持,进一步明确了双方深化合作的政策依据与推进路径。
聚焦痛点,务实推进合作共识
双方围绕国产集成电路检测与量测装备研发中面临的技术挑战,以及行业紧缺的光电仪器复合型人才培养等核心议题,展开了深入而坦诚的交流,并就联合攻关、人才培养、实习实训等具体合作形式形成了初步共识。
此次走访是上海理工大学光电信息与计算机工程学院积极服务国家和上海集成电路产业战略、推动光电仪器学科优势转化落地的重要举措。双方表示,将以此次交流为新起点,尽快建立长效合作机制,充分发挥各自在技术研发与产业实践方面的优势,携手为我国集成电路检测装备的自主可控贡献力量。

