太赫兹显微成像检测仪项目以优秀成绩顺利通过综合绩效评价验收

来源:光电信息与计算机工程学院发布时间:2022-01-10访问量:10


16日,国家重大科学仪器设备开发专项办组织召开了“太赫兹显微成像检测仪(2017YFF0106300)”项目综合绩效评价视频会议。本项目由我院彭滟教授担任首席,由江苏北方湖光光电有限公司中国电子科技集团公司41研究所中科院上海微系统与信息技术研究所中科院重庆绿色智能技术研究所上海理工大学聚光科技(杭州)股份有限公司上海明垒实业有限公司联合承担完成。


会议由专项办专项主管刘进长研究员主持,项目牵头单位江苏北方湖光光电有限公司董事长任益致辞。

专家组由北京控制工程研究所刘淑芬研究员任组长、中国科学院尹叶高级会计师任副组长,其他十一名相关领域顶尖专家组成。

专家组详细审查了评价资料,听取了项目负责人的汇报,观看了项目成果、产品演示录像片,经质询和讨论,项目最终以91.8的高分通过综合绩效评价,属于重大科学仪器考核中的“优秀”级别(该项占比仅有15%

本项目重点解决半导体材料中原位缺陷检测问题以及生物细胞中微纳尺度下的物质成分和结构检测问题,针对传统太赫兹系统空间分辨率有限的弊病,通过采用散射式扫描近场显微(s-SNOM)方案,实现了20 nm高空间分辨率、高信噪比的显微成像、频谱检测和成份分析功能,形成了拥有自主知识产权的全国产化工程样机。

项目最终取得的指标包括:系统空间分辨率<20nm;单点检测实际<7.5ms;检测频宽>3THz;技术就绪度达到8级。项目还获得各类测试报告10份,申请专利26项,软件著作权5,企业标准2项,发表学术论文51篇。在2家单位进行试用并形成反馈意见;开发的太赫兹显微成像检测仪产品,至结题时销售3台。

专项办充分肯定了项目取得的丰硕成果,希望项目团队以综合绩效评价为起点,继续开展技术迭代及技术创新,持续做好项目产业化工作,促进我国太赫兹近场显微镜的装备水平和技术能力。

 

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